М.т. обеспечение

В НОЦ «Технологический центр» имеется современное специализированное оборудование, в том числе:

• Химическая лаборатория для работы с металлоорганическими соединениями высокой степени чистоты
• Технологический участок с локальной чистой зоной (установка для нанесения плёнок методом центрифугирования Laurell, установка Hotplate/Coolplate, диффузионные печи, установка быстрого термического отжига, установка атомно-слоевого осаждения)
• Измерительное оборудование (многофункциональный комплекс для измерения и анализа электрофизических характеристик MDC, система измерений электрофизических характеристик сегнетоэлектрических материалов aixACCT, ИК-Фурье спектрометр, многоволновая эллипсометрическая система)