Основные направления деятельности

Основные направления деятельности:
Технологии

• Технологии диэлектрических тонких пленок и наноструктур, в том числе активных диэлектриков, пористых материалов, проводящих оксидов и композитов
• Плёнкообразующие растворы и методы формирования гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, мультиферроиков, проводящих оксидов (PZT, BST, BFO, LNO и другие)
• Плёнкообразующие растворы и методы формирования пористых сегнетоэлектриков и композитов
• Плёнкообразующие растворы и методы формирования пористых изолирующих диэлектриков с низкой диэлектрической проницаемостью (low-k) методами молекулярной самосборки
• Плёнкообразующие растворы для получения различных оксидов (Si, Ti, Zr и другие) и неорганически-органических гибридов, включая периодические мезопористые оксиды
• Процессы создания изолирующих и планаризирующих слоёв в BEOL и FEOL процессах
• Сегнетоэлектрические тонкие плёнки, гетеро- и наноструктуры, композиты
• CSD и ALD технологии осаждения

Химическая лаборатория и технологический участок с локальной чистой зоной

Нанесение пленок

Устройства

• Многоуровневые системы металлизации СБИС с низкой диэлектрической проницаемостью
• Пьезоэлектрические МЭМС и датчики
• Энергонезависимые CЗУ – FRAM, стойкие к экстремальным факторам
• Защитные, планаризующие, пассивирующие покрытия
• Плёнки для оптических и иных применений

Методы контроля

• Физические процессы в диэлектриках и сегнетоэлектриках
• Вольт-амперные характеристики, определение времён релаксации, методы определения стационарных токов утечки, механизмы транспорта носителей заряда
• Вольт-фарадные характеристики, температурные циклы диэлектриков
• Поляризация, хранение, переключение заряда, число циклов в сегнетоэлектриках
• Толщина и показатель преломления (спектральная эллипсометрия)
• Эллипсометрическая порометрия (пористость, размер пор, модуль Юнга)
• Определение угла смачивания
• ИК-Фурье спектроскопия тонких плёнок
• Состав и кристаллическая структура

Эллипсометрические исследования

Исследование спектральных характеристик

Исследование электрических свойств гетероструктур

Обучение

• магистерская программа «Технологии перспективной элементной базы микро- и наноэлектроники»
• аспирантура: специальности 05.27.01 и 05.27.06

Исследование электрических свойств гетероструктур

Перспективы

• технологические и химические участки с «чистыми комнатами»
• устройства электроники на новых физических принципах